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愛德華T-Station 85分子渦輪真空泵維修站將 nEXT85H 渦輪泵與干泵或油封泵 以及簡(jiǎn)易控制器無縫結(jié)合，可實(shí)現(xiàn) 47 l/s – 84 l/s 的抽取速度。

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STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能，并提高所有氣體的吞吐量。 此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì)，提供各種功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。英國(guó)愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

STP-XA2703C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能，并提高所有氣體的吞吐量。 此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì)，提供各種功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。英國(guó)愛德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修

Edwards 的防腐蝕 STP-L301（C） 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。英國(guó)愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C