日本KASHIYAMA干式真空泵SDL20E50產(chǎn)品圖片
簡(jiǎn)單介紹
KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì)社，多年來(lái)致力于真空技術(shù)的研究，不斷開(kāi)發(fā)進(jìn)取，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評(píng)價(jià)與信賴。
KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并，除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
SDL系列
支持放大晶圓和FPD
通過(guò)組合可以實(shí)現(xiàn)大排量。 我們將回應(yīng)超過(guò)150,000升/分鐘的要求。
更短的節(jié)拍時(shí)間。
通過(guò)確保大氣側(cè)排氣速度，高速抽空大型負(fù)載鎖定室。
值得信賴的真空技術(shù)。 一個(gè)多樣化的產(chǎn)品組，具有的動(dòng)力。
Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶的廣泛信賴，包括半導(dǎo)體和液晶制造領(lǐng)域。
我們多年來(lái)培養(yǎng)的真空技術(shù)已成為這種信任的基礎(chǔ)。
特別是，一系列干式泵已成為半導(dǎo)體制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)，是一種可以說(shuō)是這種真空技術(shù)的高潮的產(chǎn)品，并且得到了客戶的高度贊譽(yù)，它在*困難的工藝中表現(xiàn)出*可靠的性能。
不僅是干泵，還有機(jī)械增壓泵，真空排氣設(shè)備等。由Kashiyama的真空技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組在多個(gè)領(lǐng)域展示了它的強(qiáng)大功能。
日本KASHIYAMA干式真空泵SDL20E50特點(diǎn)
采用優(yōu)良的倉(cāng)庫(kù)性能的立式螺絲
結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定導(dǎo)致的高耐腐蝕性
| 仕様 / 型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
| *大排気速度 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
| [L/min] *1 | |||||||
| 到達(dá)圧力 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5 | |||
| [Pa] *1 | |||||||
| 電源電圧 | 3相 AC200～220V,?380～480V | 3相 AC380～440V | |||||
| (50/60Hz) | |||||||
進(jìn)口真空泵維修
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MU-P/H系列MU100P/H MU180P/H MU300P/H MU600P/H MU1200P/H MU20M18P/H
MU-X系列MU100X MU180X MU300X MU600X MU1200X MU20M18X
SDL系列SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201
SDE系列SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
SDE-X系列SDE90X SDE303X SDE603X SDE1203X SDE20M09X SDE30M09X
SDE-TX系列SDE120TX SDE303TX SDE603TX SDE1203TX SDE20M12TX SDE30M12TX
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