英國愛德華渦輪分子泵STPA803C ISO160F 進(jìn)氣口
概述
Edwards STPA803C 渦輪分子泵是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。Edwards 的良好轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能和大的制程靈活性。STPA803C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。愛德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵
應(yīng)用
- 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
- MBE
- 擴(kuò)散
- 光致抗蝕劑脫模
- 晶體/晶膜生長
- 晶片檢查
- 負(fù)載鎖真空腔
- 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
- 高能物理：射束線、加速器
- 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋愛德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵
功能和優(yōu)勢
良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)
大的制程靈活性
無油
低振動(dòng)
高度可靠
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長
良好的控制器設(shè)計(jì)
自動(dòng)調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
無電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計(jì)
占地面積小
半機(jī)架控制器
技術(shù)データ
入口法蘭 ISO160F 出口 KF40 吹掃口 KF10 水冷卻接頭 PT1/4 抽速 N2 800 ls-1 H2 520 ls-1 壓縮比 N2 >108 H2 103 加熱時(shí)的極限壓力 10-7 Pa (10-9 Torr) 大連續(xù)出口壓力 270 Pa (2 Torr) 大氮?dú)馔掏铝?/td> 1500 sccm 額定速度 32500 rpm 啟動(dòng)時(shí)間 7 分鐘 高入口法蘭溫度 120 °C 輸入電壓 200 至 240 (± 10) V 交流 功耗 0.85 kVA 泵重量 39 kg 控制器重量 9 kg
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺(tái)州衢州愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶愛德華STPA1303C、STPA803C 渦輪分子真空泵
一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
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